Mikrobølgeeffekt
-
Mikrobølgeeffekt
Mikrobølgestrømforsyning er en ny type mikrobølgestrømforsyning basert på IGBT høyfrekvent inverterteknologi.Den integrerer anode høyspent strømforsyning, filament strømforsyning og magnetfelt strømforsyning (unntatt 3kW mikrobølge strømforsyning).Bølgemagnetronen gir arbeidsforhold.Dette produktet brukes i MPCVD, mikrobølgeplasma-etsing, mikrobølgeplasma-degumming og andre felt.