Mikrobølgeeffekt
-
Mikrobølgestrømforsyning
Mikrobølgesvitsjingsstrømforsyning er en ny type mikrobølgestrømforsyning basert på IGBT høyfrekvent inverterteknologi. Den integrerer anode høyspent strømforsyning, filament strømforsyning og magnetfelt strømforsyning (unntatt 3kW mikrobølge strømforsyning). Bølgemagnetronen gir arbeidsforhold. Dette produktet brukes i MPCVD, mikrobølgeplasmaetsing, mikrobølgeplasma-degumming og andre felt.