Mikrobølgeeffekt

Kort beskrivelse:

Mikrobølgestrømforsyning er en ny type mikrobølgestrømforsyning basert på IGBT høyfrekvent inverterteknologi.Den integrerer anode høyspent strømforsyning, filament strømforsyning og magnetfelt strømforsyning (unntatt 3kW mikrobølge strømforsyning).Bølgemagnetronen gir arbeidsforhold.Dette produktet brukes i MPCVD, mikrobølgeplasma-etsing, mikrobølgeplasma-degumming og andre felt.

Produkt detalj

Produktetiketter

Send e-post til oss

Egenskaper

● Høyfrekvent inverterteknologi, høy effekttetthet, liten størrelse og høy pålitelighet

● Rask respons, presis kontroll og god stabilitet

● Produktet har konstant spenning, konstant effekt og konstant strømkontroll

● Alle eksterne kontakter bruker hurtigpluggende terminaler og antenneplugger, som er praktiske for installasjon og vedlikehold

● Fleksibel konfigurasjon av filamentstrømforsyning, som kan være innebygd eller ekstern

● Rask tenningsdeteksjon og beskyttelse

● Rike og raske deteksjons- og beskyttelsesfunksjoner

● RS485 standard kommunikasjonsgrensesnitt

● Bruk standard chassis (3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW), enkelt å installere

Produkt detalj

	1kW Mikrobølgestrømforsyning	3kW Mikrobølgestrømforsyning	5kW Mikrobølgestrømforsyning	10kW Mikrobølgestrømforsyning	15kW Mikrobølgestrømforsyning	30kW Mikrobølgestrømforsyning	75kW Mikrobølgestrømforsyning	100kW Mikrobølgestrømforsyning
Nominell spenning og strøm til anode	4,75kV370mA	5,5kV1000mA	7,2kV1300mA		10kV1600mA	12,5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Nominell spenning og strøm av filament	DC3.5V10A	DC6V25A (innebygd)	DC12V40A (ekstern)		DC15V50A (ekstern)	DC15V50A (ekstern)	AC15V110A (ekstern)	AC15V120A
Merkespenning og strøm av magnetfelt	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Merk: produktet fortsetter å innovere og ytelsen fortsetter å forbedres.Denne parameterbeskrivelsen er kun for referanse.