MSB-serien mediumfrekvens sputtering strømforsyning
-
MSB-serien mediumfrekvens sputtering strømforsyning
RHH-serien RF-strømforsyning er avhengig av moden RF-genereringsteknologi for å gi kundene RF-strømforsyning med større effekt, høyere presisjon og rask respons. Med faseinnstilling, pulskontrollerbarhet, digital tuning og andre funksjoner. Anvendbare felt: solcelleindustri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon, etc.
Anvendelige prosesser: plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD), plasmaetsing, plasmarensing, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusjon, plasmapolymerisasjonssputtering, reaktiv sputtering, etc.