MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Kort beskrivelse:

RHH-seriens RF-strømforsyning er avhengig av moden RF-generasjonsteknologi for å gi kundene RF-strømforsyning med større kraft, høyere presisjon og rask respons.Med fase kan stilles inn, pulsstyrbar, digital tuning og andre funksjoner.Gjeldende felt: fotovoltaisk industri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon, etc.

Anvendbare prosesser: plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD), plasmaetsing, plasmarensing, radiofrekvensionekilde, plasmadiffusjon, plasmapolymerisasjonsforstøvning, reaktiv sputtering, etc.

Produkt detalj

Produktetiketter

Send e-post til oss

Egenskaper

● Halv murstein og stativmonteringsstiler

● Vedta full digital kontroll, med praktisk og rik betjeningsmeny

● Frekvensinnstilling, puls- og pulssynkroniseringsfunksjoner

● Med CEX-fasesynkroniseringsfunksjon

● Perfekt beskyttelsesfunksjon

Produkt detalj

Inndata	Inngangsspenning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Spesielle spesifikasjoner kan tilpasses)
Inndata	Inngangsfrekvens: 47~63Hz
Produksjon	Utgangsfrekvens: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Innstillingsområde: ±5 %
	Utgangseffekt: 1,5~5kW
	Reguleringsområde for utgangseffekt: 1~100 %
	Utgangsimpedans: 50Ω+j0
	Utgangsgrensesnitt: type N
	Utgangsmodus: kontinuerlig, puls
	Pulsfrekvens: 100Hz~100kHz
	Driftssyklus: 5~95 %
Ytelsesindeks	Effektfaktor: 0,98
	Frekvensstabilitetsnøyaktighet: ±0,005 %
	Effektivitet: 75 % (ved nominell effekt)
	Harmonisk: ＜-45dBc
	Stray: ＜-50dBc
	Eksternt kontrollgrensesnitt: analog mengde, kommunikasjon og synkronisering
	Kommunikasjonsmodus: Standard RS485 kommunikasjonsgrensesnitt;Valgfri Ether CAT, industriell Ethernet, etc.
Merk: produktet fortsetter å innovere og ytelsen fortsetter å forbedres.Denne parameterbeskrivelsen er kun for referanse.