RF strømforsyning
-
RLS Series RF-strømforsyning
RLS-seriens RF-strømforsyning bruker den nåværende stabile og pålitelige effektforsterkeren og selskapets kjerne DC-kontrollsystem, slik at produktet har svært stabil ytelse og høy produktpålitelighet. Bruk kinesisk og engelsk skjermgrensesnitt, enkelt å betjene. Hovedsakelig brukt i fotovoltaisk industri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon, etc.
-
Matchere i RMA-serien
Den kan tilpasses RLS-seriens RF-strømforsyning, og er mye brukt i plasmaetsing, belegg, plasmarensing, plasmadegumming og andre prosesser. Når den brukes alene, kan den brukes sammen med andre produsenters RF-strømforsyninger.
-
RHH Series RF-strømforsyning
RHH-seriens RF-strømforsyning er avhengig av moden RF-generasjonsteknologi for å gi kundene RF-strømforsyning med større kraft, høyere presisjon og rask respons. Med fase kan stilles inn, pulsstyrbar, digital tuning og andre funksjoner. Gjeldende felt: fotovoltaisk industri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon, etc.
Anvendbare prosesser: plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD), plasmaetsing, plasmarensing, radiofrekvensionekilde, plasmadiffusjon, plasmapolymerisasjonsforstøvning, reaktiv sputtering, etc.