RHH Series RF-strømforsyning
-
RHH Series RF-strømforsyning
RHH-seriens RF-strømforsyning er avhengig av moden RF-generasjonsteknologi for å gi kundene RF-strømforsyning med større kraft, høyere presisjon og rask respons. Med fase kan stilles inn, pulsstyrbar, digital tuning og andre funksjoner. Gjeldende felt: fotovoltaisk industri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon, etc.
Anvendbare prosesser: plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD), plasmaetsing, plasmarensing, radiofrekvensionekilde, plasmadiffusjon, plasmapolymerisasjonsforstøvning, reaktiv sputtering, etc.