MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Kort beskrivelse:

MSB-serien er avhengig av sin utmerkede bølgeformmodulasjonsteknologi for å sende ut DC, DC-puls, toveis firkantbølge, toveis trapesbølge og andre bølgeformer.Produktet har justerbar utgangsbølgeform, valgbar utgangsfrekvens, justerbar driftssyklus og presis effektkontroll.Samt lav energilagring og rask lysbuerespons.Gir praktisk og presis kontroll for belegningsprosessen.Produktene brukes hovedsakelig i forskjellige produksjonsprosesser for tynnfilm, solcelleindustri og vakuumbeleggingsindustri;påføringsprosesser: magnetronforstøvningsprosess, tvillingmålsputtering og rørformet PECVD.

Produkt detalj

Produktetiketter

Send e-post til oss

Egenskaper

Rack installasjon
Rask lysbuerespons, responstid <100ns
Lavenergilagring, <0,5mJ/KW
Multi-fase interleaved PFC-teknologi, effektfaktoren er så høy som 0,95
Ulike utgangsmoduser, kontinuerlige og intermitterende moduser kan velges
Inverterkretsen tar i bruk full myk svitsjteknologi og bruker tredjegenerasjons halvleder SiC som kraftenhet, med utmerket effektivitet
Nøyaktig lysbuedeteksjon, flere overvåkingsmetoder tilgjengelig